碳纳米冷阴极 X 射线技术

CORE TECHNOLOGY / 核心技术

核心技术构成装备底座

碳纳米冷阴极 X 射线管与数字脉冲升压电路构成产品的技术底座,并以 CNT 衬底与真空互联持续推进器件研发和工程化制造。

01冷阴极 X 光技术

冷阴极 X 光技术

以碳纳米构造体场致发射替代传统灯丝加热,实现瞬时响应和紧凑光源结构。

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02CNT 衬底技术

CNT 衬底技术

围绕金属与硅片双平台、PECVD 与阵列路线持续建立衬底能力。

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03真空互联技术

真空互联技术

以梯度真空腔体、真空机械手与飞秒封接支撑不破真空的量产路径。

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CNT 衬底技术

从材料路线到发射性能

围绕碳纳米管阵列制备、结构设计与发射性能表征,持续推进冷阴极 X 射线源的工程化工艺。

01PECVD 生长

面向碳纳米管阵列制备与发射表征。

最低开启场 1.11 V/μm
02支撑墙阵列

通过结构设计兼顾器件稳定性与发射面积。

发射电流 >10 mA
03无支撑墙路线

服务不同尺寸与工程化工艺的迭代优化。

应用:医疗 / 工业 / 安检 / 科研

真空互联技术

真空互联自动封装

将真空转运、表征、测试、老练、飞秒激光焊接与成品检测串联为连续可追踪的工艺路线。

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真空互联自动封装系统真空互联工艺对比飞秒激光焊接细节